Phương pháp bay hơi bằng chùm tia điện tử là một loại lớp phủ bay hơi chân không, sử dụng chùm tia điện tử để làm nóng trực tiếp vật liệu bay hơi trong điều kiện chân không, làm bay hơi vật liệu bay hơi và vận chuyển đến chất nền và ngưng tụ trên chất nền để tạo thành một màng mỏng. Trong thiết bị gia nhiệt bằng chùm tia điện tử, chất được gia nhiệt được đặt trong nồi nấu kim loại làm mát bằng nước, điều này có thể tránh được phản ứng giữa vật liệu bay hơi và thành nồi nấu kim loại và ảnh hưởng đến chất lượng của màng. Nhiều chén nung có thể được đặt trong thiết bị để đạt được sự bay hơi và lắng đọng đồng thời hoặc riêng biệt của các chất khác nhau. Với sự bay hơi của chùm tia điện tử, bất kỳ vật liệu nào cũng có thể bị bay hơi.
Sự bay hơi của chùm tia điện tử có thể làm bay hơi các vật liệu có điểm nóng chảy cao. So với sự bay hơi do gia nhiệt bằng điện trở nói chung, nó có hiệu suất nhiệt cao hơn, mật độ dòng chùm tia cao hơn và tốc độ bay hơi nhanh hơn. Phim và phim của các vật liệu quang học khác nhau như thủy tinh dẫn điện.
Đặc điểm của sự bay hơi chùm tia điện tử là nó sẽ không hoặc hiếm khi bao phủ hai mặt của cấu trúc ba chiều mục tiêu và thường chỉ lắng đọng trên bề mặt mục tiêu. Đây là sự khác biệt giữa sự bay hơi chùm tia điện tử và phún xạ.
Sự bay hơi chùm electron được sử dụng phổ biến trong lĩnh vực nghiên cứu và công nghiệp bán dẫn. Năng lượng điện tử được gia tốc được sử dụng để tấn công mục tiêu vật chất, khiến mục tiêu vật chất bốc hơi và bay lên. Cuối cùng gửi vào mục tiêu.
Thời gian đăng: Dec-02-2022