Mục tiêu quay kim loại
Mô tả Sản phẩm
Mục tiêu quay kim loại
Từ trường và điện trường trực giao được áp dụng giữa mục tiêu phún xạ (cực âm) và cực dương.Và đổ đầy khí trơ cần thiết (thường là khí Ar) vào buồng chân không cao.Dưới tác dụng của điện trường, khí Ar bị ion hóa thành ion dương và electron.Một điện áp cao âm nhất định được áp dụng cho mục tiêu, các electron do mục tiêu phát ra bị ảnh hưởng bởi từ trường, xác suất ion hóa của khí làm việc tăng lên, plasma mật độ cao được hình thành gần cực âm và các ion Ar bị ảnh hưởng bởi lực Lorentz.Sau đó, tăng tốc để bay đến bề mặt mục tiêu và bắn phá bề mặt mục tiêu ở tốc độ cao, để các nguyên tử phún xạ trên mục tiêu tuân theo nguyên tắc chuyển đổi động lượng, bay từ bề mặt mục tiêu sang đế và tạo ra một màng động năng cao.
Để cải thiện hơn nữa tốc độ sử dụng của vật liệu mục tiêu, một cực âm quay với hiệu suất sử dụng cao hơn được thiết kế và vật liệu mục tiêu hình ống được sử dụng cho lớp phủ phún xạ.Sự cải tiến của thiết bị phún xạ đòi hỏi phải thay đổi mục tiêu từ dạng phẳng sang dạng hình ống và tỷ lệ sử dụng của mục tiêu quay hình ống có thể lên tới 70%, điều này giải quyết phần lớn vấn đề sử dụng mục tiêu phẳng thấp.
| tên sản phẩm | Mục tiêu quay kim loại |
| Vật chất | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| kích thước bán nóng | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Cũng có thể được xử lý theo yêu cầu cụ thể của khách hàng |
| moq | 3 mảnh |
| Bưu kiện | Vỏ gỗ |
Lưu ý: Chúng tôi chủ yếu sản xuất các mục tiêu kim loại khác nhau, vui lòng tham khảo ý kiến của chúng tôi để biết chi tiết.
Đăng kí
Lớp phủ phún xạ là một loại phương pháp phủ hơi vật lý mới.So với phương pháp phủ bay hơi, nó có những ưu điểm rõ ràng.
trong nhiều khía cạnh.Mục tiêu phún xạ kim loại đã được sử dụng trong nhiều lĩnh vực.Ứng dụng chính của mục tiêu xoay.
■Pin mặt trời
■kính kiến trúc
■Kính tự động
■chất bán dẫn
■TV màn hình phẳng, v.v.
Thông tin đặt hàng
Yêu cầu và đơn đặt hàng nên bao gồm các thông tin sau:
☑Thông số kỹ thuật đích ID×OD×L (mm).
☑Số lượng yêu cầu.
☑Vui lòng liên hệ với chúng tôi để biết thêm nhu cầu đặc biệt.
