Phương pháp phún xạ Magnetron hoạt động như thế nào?
Phún xạ magnetron là một phương pháp lắng đọng hơi vật lý (PVD), một loại quy trình lắng đọng chân không để sản xuất màng mỏng và lớp phủ.
Cái tên "phún xạ magnetron" phát sinh từ việc sử dụng từ trường để kiểm soát hành vi của các hạt ion tích điện trong quá trình lắng đọng phún xạ magnetron.Quá trình này đòi hỏi buồng chân không cao để tạo môi trường áp suất thấp cho quá trình phún xạ.Khí bao gồm plasma, điển hình là khí argon, đi vào buồng đầu tiên.
Một điện áp âm cao được đặt giữa cực âm và cực dương để bắt đầu quá trình ion hóa khí trơ.Các ion argon dương từ plasma va chạm với vật liệu mục tiêu tích điện âm.Mỗi va chạm của các hạt năng lượng cao có thể khiến các nguyên tử từ bề mặt mục tiêu phóng vào môi trường chân không và đẩy lên bề mặt của chất nền.
Từ trường mạnh tạo ra mật độ plasma cao bằng cách giam giữ các electron gần bề mặt mục tiêu, làm tăng tốc độ lắng đọng và ngăn chặn thiệt hại cho chất nền do bắn phá ion.Hầu hết các vật liệu có thể đóng vai trò là mục tiêu cho quá trình phún xạ do hệ thống phún xạ magnetron không yêu cầu làm nóng chảy hoặc bay hơi vật liệu nguồn.
Thông số sản phẩm
tên sản phẩm | Mục tiêu titan tinh khiết |
Lớp | Gr1 |
độ tinh khiết | Hơn 99,7% |
Tỉ trọng | 4,5g/cm3 |
moq | 5 miếng |
kích thước bán nóng | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Đăng kí | Lớp phủ cho máy PVD |
kích thước chứng khoán | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Các mục tiêu có sẵn khác | Molypden(Mo) Chrome(Cr) TiAl Đồng(Cu) Zirconi(Zr) |
Đăng kí
■Lớp phủ mạch tích hợp.
■Màn hình bề mặt của các tấm phẳng và các thành phần khác.
■Trang trí và phủ kính, v.v.
Những sản phẩm chúng ta có thể sản xuất
■Mục tiêu phẳng bằng titan có độ tinh khiết cao (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Kết nối ren tiêu chuẩn để cài đặt dễ dàng (M90, M80)
■Sản xuất độc lập, giá cả phải chăng (có thể kiểm soát chất lượng)
Thông tin đặt hàng
Yêu cầu và đơn đặt hàng nên bao gồm các thông tin sau:
■ Đường kính, Chiều cao (chẳng hạn như Φ100 * 40mm).
■ Kích thước ren (Chẳng hạn như M90*2mm).
■ Số lượng.
■ Nhu cầu trong sạch.